林志尧笑着点了点头,没把他这话当真,而是认为他只是在谦虚而已。

        随後,林志尧便大概讲解了一下半导T领域的发展历程和中威公司的主要工作:“……我在国外主要是在泛林、应用材料、东京电子这几家公司工作,研究半导T刻蚀设备,所以中威公司现在的研究工作就是把刻蚀设备国产化,这里面的工作量非常大……”

        赵默听得很认真。

        刻蚀,顾名思义,用腐蚀的方法进行雕刻,在晶圆上雕刻出线路图。

        刻蚀设备,制造难度虽然b不上光刻机,但一样是半导T制造领域制造难度最高的几种设备之一,尤其是高等级的刻蚀设备,目前世界上也就泛林、应用材料、东京电子这三家可以做。

        而这三家刻蚀设备制造公司,林志尧都在里面工作过,而且都是团队的核心人物、领导人物,是它们刻蚀设备能够成功并且迈向高端的最大功臣!

        “现在的刻蚀技术按工艺划分可分为Sh法刻蚀和g法刻蚀。”

        “Sh法刻蚀包括化学刻蚀和电解刻蚀,使用的是YeT试剂,所以成本较低,C作简单,应用范围较广。但是,这种方法容易出现边侧形成斜坡、要求冲洗或乾燥等步骤,不适合越来越先进的制程。”

        “g法刻蚀就不同了,它的成本是很高的,选择的材料刻蚀X差,但是没有Sh法刻蚀的缺点,通常是用离子束、高密度等离子T、反应离子等来刻蚀,刻蚀的侧面具有各向异X,具有较小的光刻胶脱落的优点,刻蚀率也高,所以现在的先进制程的小特徵尺寸JiNg细刻蚀中,g法刻蚀有优势。”

        ……

        原本应该激烈谈判的现场,赫然变成了一场技术交流会。

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