到时候,肯定要有人背锅,平息他们的怒火,自己很可能成为背锅侠!
“为什么,这才一个月啊!”青木大贵心里在呐喊,这个技术突破再晚几个月,神州一定会让步的,可为什么会这么快?
……
极紫外光刻胶的突破,代表了光刻机和芯片制造最关键的材料问题已经解决。
同时,卢建业的团队已经打磨出了极紫外光刻机所需要的“镜头”。这玩意在以前,也是花钱都买不到的产品之一,只有汉斯的蔡司公司才能制造,而现在,神州已经能自己制造了。
其他的高端零部件,也在同步制造中。
芯片设计上,反而比较简单。神州本来就能设计出高精密的芯片,只是没法制造出来。何星舟稍加改进,便完成了3纳米制程芯片的设计。
现在距离极紫外光刻机制造,以及3纳米制程芯片的生产,只剩下最后一个问题——极紫外光刀!
何星舟来到了光电研究所,跟严蕊院士的团队一起研究。
激光研究室里,严蕊正在讲述他们遇到的问题:“我们现在是采用气体喷射的方式用激光轰击靶材料产生等离子体,等离子体发EUV辐射,EUV辐射经过由周期性多层薄膜反射镜组成的聚焦系统入射到反射掩模上.射出的EUV光波再通过反射镜组成的投影系统,将反射掩模上的集成电路的几何图形成像到硅片上的光刻胶中,从而形成集成电路所需要的光刻图形。”
“理论上,这个过程没有问题。”何星舟点点头。
内容未完,下一页继续阅读