“但问题在于如何在提高EUV光源瓦数的同时，降低等离子气氛中微粒、高速粒子和其它污染物。”严蕊头疼道，“不然光源就会迅速恶化。还有，极紫外投影光刻系统使用了反射式掩模。”
“我们的EUV掩膜缺陷仍高达ldefect／cm2，检测机台的制造水平也要得到进一步提升。”
“检测机台的问题，我想卢教授那边的团队应该能解决。”何星舟说道，“至于极紫外光源的问题，我想到了一个解决方案。”
“什么方案？”这群院士和专家们都看着他。
何星舟说道：“光源瓦数的提升，可以用电能！”
“在高功率激光加热负载体形成等离子体并且多次反射后，形成了极紫外光源，这个时候，再设计一个放电反应室，让等离子体进一步转化，辐射出亮度更高，更纯净的极紫外线，如果还有多层反射镜，EUV的纳米刻度会进一步提升，就有可能满足3纳米制程的要求！”
其实这就是解决方案，只不过何星舟说的委婉了一点。
“这样做我们也设想过！”严蕊似乎有点想法了，她问道：“这个电能反应室……”
“我有设计图！”何星舟说道。
“真的？！”众人听到他这么说，精神为之一振，赶紧说道：“让我们看看！”
“去会议室！”何星舟笑道。
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